Вакуумный универсальный пост ВУП-5М

Голосов пока нет
Под заказ

Вакуумный универсальный пост ВУП-5М предназначен для получения пленок из различных материалов с высокой производительностью методом магнетронного распыления, а также для подготовки объектов, исследуемых с помощью электронного микроскопа или других аналитических приборов.

Варианты исполнения приборов ВУП-5М для поставки
Система откачки ВУП-5М-01 ВУП-5М-02 ВУП-5М-03
Диффузионный насос, 220 V +    
Турбомолекулярный насос, 220 V   +  
Турбомолекулярный насос, 115 V     +

Дополнительные устройства по требованию заказчика: кварцевый измеритель толщины.

Преимущества

  • универсальность процесса позволяет получить пленки металлов, сплавов и полупроводников;
  • высокая скорость осаждения с возможностью ее регулирования в широких пределах;
  • сохраненные соотношения компонентов при распылении вещества сложного состава;
  • прибор позволяет получить высокую адгезию пленок и подложки;
  • возможность изменения структуры и свойств пленок;
  • возможность распыления нескольких материалов без разгерметизации объема;
  • небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую структуру.
Технические характеристики
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Pa:
  • с диффузионным насосом и азотной ловушкой
  • с турбомолекулярным насосом
2×10 -4
6×10 -4
Диаметр мишени магнетрона, mm 40
Блок питания DC магнетрона:
  • напряжение, V
  • ток, mA
1100
300
Блок питания высоковольтный:
  • напряжение, kV
  • ток, mA
7
50
Блок термического испарения:
  • первый испаритель, ток, A
  • второй испаритель, ток, A
200
100
Температура нагрева подложки, °C 350
Скорость вращения подложки, rpm 5 — 15
Система напуска и стабилизации давления газа одноканальная (пьезонатекатель)
Размеры рабочего объема (диаметр×высота), mm 300×300
Масса прибора, kg, не более 380
Габаритные размеры, mm
  • стойка аналитическая
  • стойка электрическая
620×630×1600
620×630×1400
Электрическое питание, V 380 / 220
Потребляемая мощность, kVA 4,5

Область применения

Вакуумный универсальный пост ВУП-5М может быть использован для исследований в области:

  • физики,
  • химии,
  • биологии,
  • медицины и других областях науки и техники.