Микроскоп РЭМ-106И

Average: 6 (2 votes)
Под заказ

Микроскоп РЭМ-106И предназначен для исследований в материаловедении, нанотехнологиях, физике, химии, геологии, микроэлектронике, биологии, медицине и др. областях с гарантированными метрологическими параметрами измерений линейных размеров субмикронного диапазона и массовой доли элементов в составе исследуемых объектов.

Опции

  • автономная система водяного охлаждения;
  • набор эталонных объектов геологического происхождения;
  • варианты комплектности (камера низкого вакуума и ЭДС) – по согласованию с потребителем.
Технические характеристики
Параметр Значение
Разрешение в режиме высокого вакуума (ВЭ), nm 4
Разрешение в режиме низкого вакуума (ОЭ), nm 6
Максимальный размер изображения, pixels 1280×960
Диапазон регулирования давления в камере, Pa 1 — 270
Диапазон ускоряющих напряжений, kV 0,5 — 30
Диапазон регулирования увеличений, × 15 — 300000
Максимальный размер объекта, mm 50
Диапазон перемещений объекта:
  • по координатам X, Y, mm
  • по координате Z, mm
  • наклон, °
  • поворот, °
±25
50
-20÷60
360
Время смены образца, min 5
Диапазон измерений линейных размеров, µm 0,2 — 5000
Пределы допускаемой основной погрешности измерений
линейных размеров, не более:
  • в диапазоне от 0,2 µm до 0,8 µm, nm
  • в диапазоне свыше 0,8 µm до 5000 µm, %

±40
±4

Диапазон анализируемых элементов:
  • в режиме высокого вакуума
  • в режиме низкого вакуума
5 B - 92 U
12 Mg - 92 U
Разрешение ЭДС, eV 139
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений
массовой доли элемента в диапазоне от 6 С до 92 U
в составе массивных образцов, не более:
  • для элементов с диапазоном массовой доли свыше 10 %, %
  • для элементов с диапазоном массовой доли свыше 1 % до 10 %, %
  • для элементов с диапазоном массовой доли от 0,1 % до 1 %, %

±4
±20
±50

Напряжение питания (1 фаза), V
частота, Hz
220
50/60
Потребляемая мощность, kVА 2,5
Габаритные размеры ( колонна со стендом ), mm, не более:
  • длина
  • ширина
  • высота
1050
2100
1850
Масса, kg, не более 685

Преимущества

  • РЭМ-106И - это растровый измерительный электронный микроскоп с камерой низкого вакуума;
  • быстрое, с гарантированной точностью, измерение линейных размеров объектов;
  • определение элементного состава объектов методом рентгеновского микроанализа с гарантированной точностью;
  • высокое качество электронно-оптических изображений поверхности проводящих и диэлектрических объектов без специального приготовления в режимах вторичных (ВЭ) и отраженных электронов (ОЭ);
  • набор тестовых образцов для калибровки и поверки метрологических параметров, электронно-оптического увеличения, разрешающей способности в режиме ВЭ и ОЭ, калибровки и поверки системы микроанализа;
  • набор эталонов для количественного микроанализа;
  • конструкция вакуумной системы, обеспечивающая два рабочих режима в камере объектов: высоковакуумный (классический РЭМ) и низковакуумный регулируемый – для исследования диэлектрических объектов;
  • электронно-оптическая система с повышенной защищенностью от внешних электромагнитных полей;
  • высокая виброустойчивость;
  • объективная линза с разделительными диафрагмами для дифференциальной откачки камеры объектов и электронной пушки;
  • управление вакуумной, электронно-оптической, энерго-дисперсионной системами прибора и механизмом перемещения объектов, а также визуализацию и хранение изображений и результатов микроанализа
  • обеспечивается персональным компьютером;
  • документирование изображений и спектров высокоразрешающим принтером;
  • отображение информации о состоянии прибора на дисплее компьютера.